日前，落户盐城盐南高新区的智芯达真空设备（江苏）有限公司成功推出国产首套硅基IZO低温低损伤磁控溅射设备，并已完成整机调试与验收，正式交付下游硅基Micro OLED头部产线使用。此举标志着我国AR/VR核心硅基显示镀膜装备彻底打破海外长期垄断，实现关键环节的国产化自主可控。

硅基Micro OLED是AR/VR微型显示及高端车载近眼显示设备的关键器件，传统进口溅射设备因作业温度高、粒子轰击强度大，易损伤有机发光层。智芯达依托自主专利技术，将镀膜基底温度稳定控制在40至60摄氏度，膜层均匀性误差控制在±2%以内，厚度精度达到纳米级，多项关键性能实现对进口设备的全面超越。

面对客户四个月内交付的紧迫需求，团队高效攻克了交付周期紧、工艺标准高及全套国产化替代三大难题，大幅降低了国内企业的设备采购与运维成本。

目前，智芯达已构建完全自主的知识产权体系，累计获授权专利60余项。在深耕硅基显示镀膜的同时，企业同步拓展大尺寸OLED镀膜及半导体芯片电磁屏蔽镀膜等新应用，第四款面向先进封装的高深宽比设备也已进入测试阶段。盐南高新区将持续完善产业链配套，壮大以智芯达为核心的高端装备产业集群，为国内新型显示产业高质量发展提供硬核支撑。（新闻来源：VRAR星球报道）

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